一種基于臨界反應(yīng)距離控制的微細電化學(xué)(μ-ECM)在線高效制備大長徑比微電極方法，旨在解決大長徑比微電極制備難題。采用強堿性電解液及微秒級電源，實現(xiàn)了鎢電極的微米級精度可控去除。分析了微細電化學(xué)加工材料去除微觀過程，仿真分析了兩極距離變化條件下間隙電流密度變化，確定了基于臨界反應(yīng)距離精確控制材料去除的參數(shù)選擇范圍。建立了電極材料蝕除過程數(shù)學(xué)模型，得到了材料蝕除量的變化規(guī)律。進行了系統(tǒng)的工藝實驗，研究了電壓、脈寬、電解液濃度對微細電極材料去除率的影響規(guī)律。采用優(yōu)化的工藝參數(shù)，得到了直徑10μm、長徑比大于200的微細電極，材料去除率最高可達2.7×10-2mm3/min，加工效率較目前主流方法提高一個數(shù)量級。