【摘要】：微流控芯片可以在平方厘米級別的區域內實現生物、化學、醫學等領域中所涉及的樣品制備、生化反應、分離和檢測等操作，具有體積小、造價低、樣品消耗少、檢測快速、檢測分辨率高和靈敏度高等優勢，這使其在生化分析、衛生檢疫、藥物合成篩選、環境檢測與保護、司法鑒定等眾多領域有著極為廣闊的應用前景。許多的技術手段被綜合用于微流控平臺的設計，其中微電極技術以響應時間短、安裝方便、易集成和兼容性好等優勢成為了微流控領域常用的手段之一。

微電極對于微流控芯片具有重要的作用，它不但可以將外部電信號傳導入芯片內部，以實現電泳、介電電泳、電穿孔和電融合等功能；還能作為傳感器，將芯片內部環境參數轉化為電信號，并傳到芯片外，實現對芯片內p H值、壓力、濃度、溫度、阻抗值等參數的檢測。按照厚度不同，常將微電極分為納米級別的二維(2D)電極和微米級別的三維(3D)電極，其中3D電極具有空間電場均勻性好，有效電極表面積大、能承受電流強度大、魯棒性好等優點。按照材質不同，可將微電極分為ITO電極、金屬電極、碳系電極和復合電極等，其中復合電極具有對設備依賴性小、操作簡便、造價低廉等特點。3D復合微電極結合了3D電極和復合電極的優點，在微流控芯片的大規模生產和產業化應用等方面具有很大的發展潛力。現有研究較多聚焦在如何將復合電極材料通過各種微加工工藝，制作成形狀和功能不同的3D復合微電極，但對3D復合微電極涉及的有關復合材料的導電理論、性質、制備方式等尚缺乏系統性研究。

聚二甲基硅氧烷(PDMS)是微流控領域最常見的芯片制作材料，具有透光性好、復制精度高、價格低廉等優點，但PDMS的表面能低，與金屬結合能力差，在PDMS芯片上加工和集成3D微電極，面臨電極易脫落、加工難度大等挑戰。為了尋找可靠性高、操作簡便的3D微電極加工材料和工藝，解決在PDMS微流控芯片中加工和集成3D微電極面臨的技術難題，本研究提出了一種電學性能優良的導電顆粒-PDMS復合電極材料設計方案，建立了一套可靠性高、操作簡便，可在PDMS微流控芯片上加工不同形狀和尺寸3D微電極的加工工藝，并開展了相關應用實驗研究。主要研究工作包含以下幾方面:

(1)開展了導電顆粒-PDMS復合電極材料的導電理論與導電網絡模型研究。以復合電極材料中導電網絡的形成機制和自由電子的運動方式為切入點，并結合PDMS的交聯特性，以金屬系的銀粉(Ag)和碳系的石墨粉(GP)為導電顆粒構建了微觀導電模型，研究發現復合電極材料內部存在由PDMS交聯網絡和導電顆粒接觸網絡組成的雙重網絡，二者互相交聯和影響，并反映在電學性能的相關參數中。采用貢獻度的方法求解復合電極材料的等效電阻，計算出復合電極的電阻由導電顆粒本身的電阻和顆粒間的直接接觸電阻組成，并將電子穿越PDMS運動引起的隧道效應視作接觸電阻的一部分，且兩種接觸電阻是影響材料整體電阻的主要因素。該研究為選擇微納級別的導電粉末以獲得優良電學性能的復合電極材料奠定了理論基礎，對導電顆粒-PDMS復合電極材料的制備具有指導作用。

(2)制備了電學優良、力學性能滿足微加工要求的復合電極材料。首先研究了直接分散法和間接分散法對Ag粉和GP粉的分散效果，創新性地在間接分散法中引入乙酸乙酯(EAC)作為分散輔助溶劑，并使用吐溫80作為表面活性劑，各項性能測試結果證明EAC對導電顆粒的分散效果較佳。探索了導電顆粒的種類、大小、含量和PDMS的組成、固化溫度對復合電極材料的電學力學性能的影響。研究發現Ag-PDMS和GP-PDMS復合電極材料的電學和力學性能存在對立問題，隨著導電顆粒含量的不斷增加，導電網絡逐漸形成，電極的導電性不斷增強，但材料的硬度也不斷增加，逐漸失去了PDMS本該擁有的柔軟性，直至喪失可加工性和穩定性。綜合考慮3D復合電極的微加工條件和要求，對復合電極材料的電學和力學性能進行了權衡和取舍，確定了以電學性能為主，力學性能滿足微加工需要為標準，通過實驗選擇質量分數為75%的10nm Ag-PDMS和36%的10nm GP-PDMS作為性能優良的復合電極，并表征其微觀結構，驗證了復合電極內存在著雙網絡模型:即導電顆粒接觸形成的導電網絡和PDMS固化形成的交聯網絡。電學性能優良的復合電極材料為3D微電極的制作提供了有效途徑。

(3)開展了3D復合電極微型化和集成化的工藝研究。本研究采用模塑法作為復合電極材料微型化的方法，軟光刻技術制作模塑法所需的凹型模具。使用該方法可加工寬度為50μm，深寬比為1:1(理論上最高可達3:1)的3D復合微電極；通過實驗測試，制作的復合電極與PDMS結合牢固，這是其他復合電極加工方法難以實現的。三維微電極、電極引線、接口均為相同的復合材料，一體成型的加工減少了接觸電阻。該工藝可靠性高，重復性好，對3D復合微電極的加工具有指導作用，為基于導電顆粒-PDMS三維復合微電極的微流控芯片的大規模制作和產業化應用提供了新的思路。

(4)設計和制作了基于Ag-PDMS三維微電極的介電電泳分離芯片，并以三種不同大小的聚苯乙烯微球為分離對象開展實驗研究。在芯片的設計階段，對電學相關的介電電泳理論和流體力學相關的理論進行了推導和分析，并對聚苯乙烯微球在微流控芯片的分離微通道中所受介電電泳力和流體拖曳力進行了探討。使用COMSOL對分離過程中涉及的電場和流場進行建模和仿真，并對5、10和20μm聚苯乙烯微球的分離軌跡進行了預測。以質量分數為75%的10nm Ag-PDMS為復合電極材料，分別使用軟光刻法和模塑法制作模具和芯片，使用對準鍵合平臺對芯片進行封裝，得到具有兩個入口、三個出口，并帶有側壁3D復合微電極的微流控芯片。對三種不同大小的聚苯乙烯微球進行實驗分離，分析了激勵信號電壓的峰峰值和流速的改變對分離結果的影響，在激勵信號峰峰值為23V，頻率為1MHz，進樣流速為3μL/min和1μL/min的條件下，對三種聚苯乙烯微球進行了5min以上的連續分離，統計結果證明分離效率能達到150顆/min，分離準確率達到90%以上，這對于后期分離不同種類型微粒的研究奠定了較好的基礎。

(5)設計和制作了基于3D復合微電極的微型三電極及微流控芯片系統，并開展了抗壞血酸電化學檢測的初步實驗研究。使用電解氯化法制備得到電化學性能穩定的Ag/Ag Cl-PDMS參比電極，以微型GP-PDMS為工作電極、Ag/Ag Cl-PDMS為參比電極、Ag-PDMS為輔助電極構建三電極體系，并將3D微電極、樣品池和進出口流路集成到同一塊微流控芯片，構成芯片式電化學傳感器。通過表面等離子處理，使GP-PDMS工作電極表面帶有親水性的羥基，對抗壞血酸(AA)中的兩個質子具有較強的吸引力，對AA氧化過程起催化和加速作用。相比于同寬度2D電極，3D微型GP-PDMS工作電極的有效活性表面積增加了152%，降低了電化學檢測的干擾和噪聲。可根據AA的濃度范圍靈活選擇檢測方法(CV法和DPV法)，靈敏度最高可達0.206A/(M·cm~2)，最低檢測限為175n M，線性范圍分別為1-250μM(DPV法)和50-1200μM(CV法)，且具有較好的選擇性和重復性。以維生素C藥片和水溶C100飲料為實際樣品，使用電化學傳感器對兩種樣品的AA濃度進行檢測，其結果與紫外光譜法的測量結果一致。

使用芯片式電化學傳感器可較為便捷、快速、高精度地對AA進行定性和定量檢測，擺脫了傳統電化學檢測的繁瑣準備和復雜操作，為藥品分析和食品安全等領域的樣品檢驗提供了新的解決思路。總而言之，本研究從復合電極的導電機理研究出發、到導電性能優良的復合電極的制作、以及3D復合微電極與微流控芯片的耦合、最后進行該類型微流控裝置的兩種應用研究，對基于導電顆粒-PDMS復合電極材料的電、力學性能和制備方法有了較為深入的認識，為微流控芯片在新領域的應用提供了技術支持。